​ CNC精密零配件加工的特點

     超精密零配件加工方法的（de）特點是對外（wài）表層物質去除或添加的量能夠作極細微的控製。但是要獲得cnc超精密零件加工精度，仍有賴於精密的加工設備和準確的克製係統，並采用超精（jīng）密掩膜作中介物。例如超大規模集成電路的製版即使采用電子束對（duì）掩（yǎn）膜（mó）上的（de）光致抗蝕劑（見光刻）舉行曝射，使光致抗蝕劑的原子在電子撞擊下直（zhí）接（jiē）聚合(或分解（jiě）)，再用顯影劑把聚合過（guò）的或未（wèi）聚合過（guò）的部分溶解（jiě）掉，製成掩膜。電子束曝射製版必要采用工作台定位（wèi）精度高達±0.01微米的超精密加工設備。

    超精密零配件加工，主（zhǔ）要有超精密（mì）車削、鏡麵磨削和研磨等。在超精密車床上用通過精細研磨（mó）的單晶金剛石車刀（dāo）舉行微量車削,切削厚度僅1微米（mǐ）左右，常用於加工有色金屬材料的球麵、非球麵和平麵的反射鏡等（děng）高精度、外表高度光潔的（de）零件。例如加（jiā）工核聚變裝置用的直徑為800毫米的非球麵反射鏡，高精度可達（dá）0.1微米，外表（biǎo）粗糙度為Rz0.05微米。

     超精密零配（pèi）件加工精度以納米，甚至後以原（yuán）子單位(原子晶格距離為0.1～0.2納米)為目標時（shí），超精密零件（jiàn）切削加工方法（fǎ）已不能適應，必要借助特種（zhǒng）精密零配件加工的方法，即應用化學能、電化學能、熱能或電能等，使這些能量超越原子間的聯合能，從而去除工件外（wài）表的部分原子間的附著、聯合或晶格變形，以達到超精密加工的目的。屬於這類加工的有機械化學拋光、離（lí）子濺射和離子注入、電子束曝射、激光束加（jiā）工、金屬蒸鍍和分子束外延等。